विशेष गॅस टेल गॅस ट्रीटमेंट गॅसचा वापर！

शेपटी गॅस ट्रीटमेंट उपकरणे सेमीकंडक्टर, लिक्विड क्रिस्टल आणि सौर उर्जा उद्योगांमध्ये एचिंग प्रक्रिया आणि रासायनिक वाष्प जमा प्रक्रियेमध्ये वापरल्या जाणार्‍या वायू हाताळू शकतात, ज्यात एसआयएच 4, एसआयएच 2 सीएल 2, पीएच 3, बी 2 एच 6, टीईओएस, एच 2, सीओ, एनएफ 3, एसएफ 6, सी 2 एफ 6, डब्ल्यूएफ 6, एनएच 3, एन 2 ओ, आणि एस.

एक्झॉस्ट गॅस उपचार पद्धत

एक्झॉस्ट गॅस ट्रीटमेंटच्या वैशिष्ट्यांनुसार, उपचारांना चार प्रकारच्या उपचारांमध्ये विभागले जाऊ शकते:

1. वॉटर वॉशिंग प्रकार (संक्षारक वायूंचा उपचार)

2. ऑक्सिडायझिंग प्रकार (ज्वलनशील आणि विषारी वायूंचा सामना करणे)

3. सोशोर्शन (संबंधित एक्झॉस्ट गॅसचा सामना करण्यासाठी सोशोशन मटेरियलच्या प्रकारानुसार).

P. प्लाझ्मा दहन प्रकार (सर्व प्रकारच्या एक्झॉस्ट गॅसचा उपचार केला जाऊ शकतो).

प्रत्येक प्रकारच्या उपचारांचे स्वतःचे फायदे आणि तोटे तसेच त्याच्या अर्जाची व्याप्ती आहे. जेव्हा उपचाराची पद्धत पाणी धुणे असते, तेव्हा उपकरणे स्वस्त आणि सोपी असतात आणि केवळ पाणी-विद्रव्य वायू हाताळू शकतात; इलेक्ट्रिक वॉटर वॉशिंग प्रकाराची अनुप्रयोग श्रेणी वॉटर वॉशिंग प्रकारापेक्षा जास्त आहे, परंतु ऑपरेशनची किंमत जास्त आहे; कोरड्या प्रकारात उपचारांची चांगली कार्यक्षमता असते आणि गॅस प्रवाहास लागू होत नाही जे अडकविणे किंवा वाहणे सोपे आहे.

सेमीकंडक्टर उद्योगात सामान्यतः वापरल्या जाणार्‍या रसायने आणि त्यांचे उप-उत्पादने त्यांच्या रासायनिक गुणधर्मांनुसार आणि त्यांच्या भिन्न श्रेणीनुसार वर्गीकृत केल्या जाऊ शकतात:

1. एसआयएच 4 एच 2 सारख्या ज्वलनशील वायू, इ.

2. एएसएच 3, पीएच 3, इ. सारख्या विषारी वायू

3. एचएफ, एचसीएल, इ. सारख्या संक्षारक वायू

4. ग्रीनहाऊस वायू जसे की सीएफ 4, एनएफ 3, इ.

वरील चार वायू पर्यावरणासाठी किंवा मानवी शरीरासाठी हानिकारक असल्याने, वातावरणात त्याचे थेट उत्सर्जन रोखणे आवश्यक आहे, म्हणून सामान्य सेमीकंडक्टर प्लांट मोठ्या केंद्रीकृत एक्झॉस्ट गॅस ट्रीटमेंट सिस्टमसह स्थापित केला आहे, परंतु ही प्रणाली केवळ वॉटर स्क्रबिंग एक्झॉस्ट आहे, म्हणून त्याचा अनुप्रयोग दीर्घ-विद्रोह वायूपर्यंत मर्यादित आहे आणि सिमेपणाच्या विरूद्ध विरंगुळ्याचा सामना करू शकत नाही. म्हणूनच, एक्झॉस्ट गॅसच्या समस्येचे छोट्या मार्गाने सोडविण्यासाठी प्रत्येक प्रक्रियेमधून प्राप्त झालेल्या गॅस वैशिष्ट्यांनुसार संबंधित एक्झॉस्ट गॅस ट्रीटमेंट उपकरणे निवडणे आणि जुळविणे आवश्यक आहे. कार्यरत क्षेत्र मुख्यतः मध्यवर्ती एक्झॉस्ट गॅस ट्रीटमेंट सिस्टमपासून दूर असल्याने बहुतेकदा गॅसच्या वैशिष्ट्यांमुळे पाइपलाइनमध्ये क्रिस्टलीकरण किंवा धूळ जमा होते, परिणामी पाइपलाइनला गॅस गळती होते आणि गंभीर प्रकरणांमध्ये स्फोट होतो, साइट कर्मचार्‍यांच्या कामाची सुरक्षा देखील सुनिश्चित करू शकत नाही. म्हणूनच, कामाच्या क्षेत्रात कार्यक्षेत्रातील स्थिर एक्झॉस्ट गॅस कमी करण्यासाठी, कर्मचार्‍यांची सुरक्षा सुनिश्चित करण्यासाठी, प्रक्रियेच्या गॅसच्या वैशिष्ट्यांसाठी योग्य एक लहान एक्झॉस्ट गॅस ट्रीटमेंट उपकरणे कॉन्फिगर करणे आवश्यक आहे.