सेमीकंडक्टर उद्योगातील गॅस उद्योग

सेमीकंडक्टर उद्योगात वायूंचा वापर 1950 च्या सुरुवातीच्या ते 1960 च्या दशकाच्या सुरूवातीस आहे. सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेदरम्यान, वायू मुख्यत: सेमीकंडक्टर सामग्री स्वच्छ आणि संरक्षित करण्यासाठी त्यांची शुद्धता आणि गुणवत्ता सुनिश्चित करण्यासाठी वापरली जातात. सामान्यत: वापरल्या जाणार्‍या वायूंमध्ये नायट्रोजन आणि हायड्रोजन आहेत.

सेमीकंडक्टर तंत्रज्ञान विकसित होत असताना आणि उत्पादन प्रक्रिया सुधारत राहिली, वायूंची मागणी वाढत गेली. १ 1970 .० मध्ये, सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग तंत्रज्ञानाचा पुढील विकास, पातळ चित्रपटांचे एचिंग आणि जमा करणे यासारख्या महत्त्वाच्या प्रक्रियेत वायूंचा वापर हळूहळू वाढला आणि फ्लोराईड वायू (उदा. एसएफ)) आणि ऑक्सिजन सामान्यत: एचिंग आणि डिपॉझिशन वायू बनला. १ 1980 .० मध्ये एकात्मिक सर्किटच्या विकासासह वायूंच्या मागणीत आणखी वाढ झाली आणि त्यांच्या मागणीत वाढ झाली. हायड्रोजन ne नीलिंग आणि हायड्रोजन वाष्प जमा यासह उत्पादन प्रक्रियेमध्ये हायड्रोजनचा मोठ्या प्रमाणात वापर केला जात असे. आणि १ 1990 1990 ० पासून आत्तापर्यंत, सेमीकंडक्टर डिव्हाइसच्या आकारात संकुचित होत असल्याने उच्च-शुद्धता वायू आणि विशिष्ट वायूंची मागणी वाढली आहे आणि नवीन प्रक्रिया सुरू केल्या आहेत. उदाहरणार्थ, अत्यंत अल्ट्राव्हायोलेट लिथोग्राफी (ईयूव्ही) च्या अनुप्रयोगासाठी नायट्रोजन आणि हायड्रोजन सारख्या अत्यंत उच्च-शुद्धता वायूंचा वापर आवश्यक आहे.

जास्तीत जास्त उत्पादनांद्वारे चालविलेल्या संबंधित उत्पादनांच्या विकासासह सेमीकंडक्टर गॅस वाढत आहे, तर गॅस देखील धोक्याच्या स्त्रोताशी संबंधित आहे, म्हणून गॅस विघटनासाठी वापरली जाणारी उत्पादने, गॅस डिटेक्शन उत्पादने आणि गॅस गळती उत्पादनांना प्रतिबंधित केले गेले आहे जसे की दबाव नियामक, गॅस व्हॉल्व्ह, गॅस ग्रास डिटेक्टर इ., आणि त्यांचे रोल सारखे आहे.

प्रेशर रेग्युलेटर: प्रेशर रेग्युलेटर गॅस प्रेशर नियंत्रित करण्यासाठी वापरली जाणारी उपकरणे आहेत. त्यामध्ये सहसा नियामक झडप आणि प्रेशर सेन्सर असतो. प्रेशर नियामक उच्च दाब गॅस इनपुट घेतात आणि विशिष्ट अनुप्रयोग आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी वाल्व समायोजित करून आउटपुट गॅसचा दबाव स्थिर करतात. गॅस पुरवठ्याची स्थिरता आणि सुरक्षितता सुनिश्चित करण्यासाठी प्रेशर नियामक उद्योग, उत्पादन आणि प्रयोगशाळे तसेच सेमीकंडक्टर उद्योगात इतरांमध्ये मोठ्या प्रमाणात वापरले जातात.

गॅस वाल्व्ह: गॅस वाल्व्हचा वापर वायूंचा प्रवाह नियंत्रित करण्यासाठी आणि गॅस परिच्छेद बंद करण्यासाठी केला जातो. त्यांच्याकडे सहसा एक चालू/बंद फंक्शन असते जे गॅसचा प्रवाह उघडते किंवा बंद करते. मॅन्युअल वाल्व्ह, इलेक्ट्रिक वाल्व्ह आणि वायवीय वाल्व्हसह विविध प्रकारचे गॅस वाल्व्ह आहेत. वायूंचा प्रवाह, दबाव आणि प्रवाह दर नियंत्रित करण्यासाठी ते गॅस सिस्टममध्ये मोठ्या प्रमाणात वापरले जातात.

गॅस प्रेशर गेज: गॅस प्रेशर गेजचा वापर गॅसच्या दाब पातळी मोजण्यासाठी केला जातो. ते सहसा गॅस सिस्टममधील गंभीर ठिकाणी स्थापित केले जातात आणि दबाव बदलांचे परीक्षण करण्यासाठी आणि ते सुरक्षित मर्यादेत आहेत याची खात्री करण्यासाठी. उद्योग, उत्पादन आणि प्रयोगशाळांमध्ये गॅस प्रेशर गेजचा मोठ्या प्रमाणात वापर केला जातो आणि सेमीकंडक्टर उद्योग देखील यात सामील आहे.

गॅस लीक डिटेक्टर: गॅस गळती डिटेक्टरचा वापर गॅस सिस्टममध्ये गळती शोधण्यासाठी केला जातो. ते शोधतातगॅस गळतीची उपस्थिती आणि गजर वाजवतो जेणेकरून गळती अपघात रोखण्यासाठी वेळेवर कारवाई केली जाऊ शकते. औद्योगिक, रासायनिक, तेल आणि गॅस अनुप्रयोगांमध्ये गॅस लीक डिटेक्टरचा मोठ्या प्रमाणात वापर केला जातो आणि सेमीकंडक्टर उद्योग देखील यात सामील आहे.