सेमीकंडक्टर मार्केट वाढत असताना, शुद्धता आणि अचूकतेचे मानक अधिक कठोर बनतात. सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगच्या गुणवत्तेतील निश्चित घटकांपैकी एक म्हणजे प्रक्रियेत वापरल्या जाणार्‍या वायू. या वायू मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेत बर्‍याच भूमिका बजावतात, यासह:
अचूक प्रक्रिया नियंत्रण
दूषित प्रतिबंध
मेटलर्जिकल प्रॉपर्टी वर्धित
या भूमिका प्रभावीपणे करण्यासाठी, गॅस पुरवठा आणि वितरण प्रणाली कार्यक्षम असणे आवश्यक आहे. सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये वापरल्या जाणार्‍या गॅस हँडलिंग सिस्टमच्या डिझाइनला सेमीकंडक्टरचे विश्वसनीय आणि उच्च प्रतीचे उत्पादन सुनिश्चित करण्यासाठी मजबूत घटक आणि सानुकूलित असेंब्लीद्वारे समर्थित केले जाणे आवश्यक आहे.
सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये वापरल्या जाणार्‍या वायू
सेमीकंडक्टर्स मॅन्युफॅक्चरिंगच्या प्रक्रियेस प्रक्रियेच्या वेगवेगळ्या टप्प्यावर वेगवेगळ्या वायूंचा वापर आवश्यक आहे.
नायट्रोजन, हायड्रोजन, आर्गॉन आणि हेलियम सारख्या सामान्य वायू त्यांच्या शुद्ध स्वरूपात वापरल्या जाऊ शकतात, परंतु विशिष्ट प्रक्रियेस विशेष मिश्रण आवश्यक असू शकते. सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये वापरल्या जाणार्‍या काही खास वायू सिलेनेस किंवा सिलोक्सनेस, हेक्साफ्लोराइड्स, हॅलाइड्स आणि हायड्रोकार्बन आहेत. यापैकी बर्‍याच वायू धोकादायक किंवा अत्यंत प्रतिक्रियाशील असू शकतात, जे गॅस सिस्टमसाठी घटकांच्या निवड आणि डिझाइनमध्ये आव्हाने निर्माण करतात.
येथे काही उदाहरणे आहेतः
\ हायड्रोजन आणि हेलियम त्यांच्या लहान अणु आकार आणि वजनामुळे पाइपिंग आणि फिटिंग सिस्टममधून सहज गळती करू शकतात.
\ सिलेन्स अत्यंत ज्वलनशील असतात आणि हवेत उत्स्फूर्तपणे ज्वलन (ऑटोइग्नाइट) करू शकतात.
The वातावरणात गळती झाल्यावर जमा, एचिंग आणि चेंबर साफसफाईच्या टप्प्यात वापरल्या जाणार्‍या नायट्रोजन डिफ्लोराईड एक शक्तिशाली ग्रीनहाऊस गॅस बनतो.
\ हायड्रोजन फ्लोराईड (एचिंग गॅस) मेटल पाईपिंगसाठी अत्यंत संक्षारक आहे.
\ ट्रायमेथिलगॅलियम आणि अमोनिया हाताळणे अवघड आहे - त्यांच्या तापमानात लहान चढउतार आणि दबाव आवश्यकतांमध्ये जमा प्रक्रियेवर परिणाम होऊ शकतो.
या वायूंचा नकारात्मक प्रभाव कमी करण्यासाठी प्रक्रियेच्या परिस्थितीवर नियंत्रण ठेवणे सिस्टम डिझाइन दरम्यान सर्वोच्च प्राधान्य असणे आवश्यक आहे. बिल्ड प्रक्रियेदरम्यान एएफके डायाफ्राम वाल्व्हसारख्या उच्च गुणवत्तेच्या घटकांचा वापर करणे तितकेच महत्वाचे आहे.
सिस्टम डिझाइन आव्हानांना संबोधित करणे
सेमीकंडक्टर ग्रेड वायू बहुतेक उच्च शुद्धतेच्या बाबतीत असतात आणि जडपणाची परिस्थिती प्रदान करतात किंवा उत्पादन प्रक्रियेच्या वेगवेगळ्या टप्प्यावर प्रतिक्रिया वाढवतात, जसे की एच आणि डिपॉझिशन गॅस. अशा वायूंच्या गळती किंवा दूषिततेचा नकारात्मक प्रभाव पडतो. म्हणूनच, दूषित होण्याची शक्यता नाही आणि अत्यंत उच्च पातळीची स्वच्छता राखली जाऊ शकते हे सुनिश्चित करण्यासाठी सिस्टम घटकांसाठी हर्मेटिकली सीलबंद आणि गंज प्रतिरोधक तसेच एक गुळगुळीत पृष्ठभाग फिनिश (इलेक्ट्रोलाइटिक पॉलिशिंग) असणे आवश्यक आहे.
याव्यतिरिक्त, यापैकी काही वायू इच्छित प्रक्रियेची परिस्थिती प्राप्त करण्यासाठी गरम किंवा थंड केल्या जाऊ शकतात. योग्य-इन्सुलेटेड घटक तापमान नियंत्रण सुनिश्चित करतात, जे अंतिम उत्पादनाच्या कार्यक्षम कामगिरीसाठी महत्त्वपूर्ण आहे.
स्त्रोत इनलेटपासून ते वापराच्या बिंदूपर्यंत, एएफकेच्या विस्तृत घटकांची संख्या अर्धसंवाहक क्लीनरूम आणि व्हॅक्यूम चेंबरमध्ये आवश्यक असलेल्या अल्ट्रा-उच्च शुद्धता, तापमान, दबाव आणि प्रवाह नियंत्रणास समर्थन देते.
सेमीकंडक्टर फॅबमध्ये दर्जेदार घटकांसह डिझाइन केलेले प्रणाली
अर्धसंवाहकांच्या अचूक नियंत्रण आणि सुरक्षित उत्पादनासाठी दर्जेदार घटक आणि डिझाइन ऑप्टिमायझेशनची भूमिका गंभीर आहे. मॅन्युफॅक्चरिंग.एएफकेचे उच्च-गुणवत्तेचे झडप, फिटिंग्ज, नियामक, पाइपिंग आणि सीलिंग कंस खालील वैशिष्ट्यांद्वारे वैशिष्ट्यीकृत आहेत.
अल्ट्रा-उच्च शुद्धता
गळती मुक्त सील
तापमान नियंत्रित इन्सुलेशन
दबाव नियंत्रण
गंज प्रतिकार
इलेक्ट्रोलाइटिक पॉलिशिंग ट्रीटमेंट
पोस्ट वेळ: ऑक्टोबर -09-2023