सेमीकंडक्टर प्रक्रियेसाठी उच्च-शुद्धता गॅस वितरण प्रणालींसाठी तंत्रज्ञान सोल्यूशन्स

उच्च-शुद्धता गॅस पाइपिंग तंत्रज्ञान हा उच्च-शुद्धता गॅस पुरवठा प्रणालीचा एक महत्त्वाचा भाग आहे, जो आवश्यक उच्च-शुद्धता गॅस वापरण्याच्या ठिकाणी वितरित करण्यासाठी आणि तरीही पात्र गुणवत्ता राखण्यासाठी मुख्य तंत्रज्ञान आहे; उच्च-शुद्धता गॅस पाइपिंग तंत्रज्ञानामध्ये सिस्टमची योग्य रचना, फिटिंग्ज आणि अ‍ॅक्सेसरीजची निवड, बांधकाम आणि स्थापना आणि चाचणी समाविष्ट आहे. अलिकडच्या वर्षांत, मोठ्या प्रमाणात एकात्मिक सर्किट्सद्वारे प्रतिनिधित्व केलेल्या मायक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स उत्पादनांच्या उत्पादनात उच्च-शुद्धता वायूंच्या शुद्धता आणि अशुद्धतेची वाढती कठोर आवश्यकता यामुळे उच्च-शुद्धता वायूंचे पाइपिंग तंत्रज्ञान वाढत्या प्रमाणात संबंधित आणि जोर देण्यात आले आहे. खालील सामग्री निवडीपासून उच्च-शुद्धता गॅस पाइपिंगचे एक संक्षिप्त विहंगावलोकन खाली दिले आहेof बांधकाम, तसेच स्वीकृती आणि दैनंदिन व्यवस्थापन.

सामान्य वायूंचे प्रकार

इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योगात सामान्य वायूंचे वर्गीकरण.

सामान्य वायू（बल्क गॅस）: हायड्रोजन (एच₂₎, नायट्रोजन (एन₂), ऑक्सिजन (ओ₂), आर्गॉन (अ₂), इ.

विशेष वायूसिह आहेत₄ ,PH₃ ,B₂H_{6 ,}A₈H₃ ,CL ,एचसीएल,CF₄ ,NH_3,POCL_3, Sih2Cl₂ Sihcl3,NH_3,  बीसीएल_{3 ,}Sif₄ ,सीएलएफ₃ ,को,C₂F_6, एन 2 ओ,F_2,एचएफ,एचबीआर एसएफ₆…… इ.

विशेष वायूंचे प्रकार सामान्यत: संक्षारक म्हणून वर्गीकृत केले जाऊ शकतातगॅस, विषारीगॅस, ज्वलनशीलगॅस, ज्वलनशीलगॅस, जडगॅस, इ. सामान्यतः वापरल्या जाणार्‍या सेमीकंडक्टर वायूंचे सामान्यत: खालीलप्रमाणे वर्गीकरण केले जाते.

(i) संक्षारक / विषारीगॅस: एचसीएल, बीएफ₃, डब्ल्यूएफ₆, एचबीआर, एसआयएच₂Cl₂, एनएच₃, पीएच₃, सीएल₂, बीसीएल₃… इ.

(ii) ज्वलनशीलतागॅस: एच₂, सीएच₄, सिह₄, पीएच₃, राख 3, सिह₂Cl₂, बी₂H₆, Ch2f_2,सीएच₃एफ, को… इ.

(iii) ज्वलनशीलतागॅस: ओ₂, सीएल₂, एन₂ओ, एनएफ₃… इ.

(iv) जडगॅस: एन₂, सीएफ₄, सी₂F₆, सी₄F_8,एसएफ₆, को₂, ने, केआर, तो… इत्यादी.

बर्‍याच सेमीकंडक्टर वायू मानवी शरीरासाठी हानिकारक असतात. विशेषतः, यापैकी काही वायू, जसे की एसआयएच₄ उत्स्फूर्त दहन, जोपर्यंत गळती हवेत ऑक्सिजनसह हिंसकपणे प्रतिक्रिया देईल आणि जळण्यास सुरवात होईल; आणि राख₃अत्यंत विषारी, कोणत्याही गळतीमुळे मानवी जीवनाचा धोका उद्भवू शकतो, हे या स्पष्ट धोक्यांमुळे होते, म्हणून सिस्टम डिझाइनच्या सुरक्षिततेची आवश्यकता विशेषतः जास्त आहे.

वायूंचा अनुप्रयोग व्याप्ती  

आधुनिक उद्योगाची एक महत्त्वाची मूलभूत कच्ची सामग्री म्हणून, गॅस उत्पादने मोठ्या प्रमाणात वापरली जातात आणि मोठ्या संख्येने सामान्य वायू किंवा विशेष वायू धातु, स्टील, पेट्रोलियम, रासायनिक उद्योग, यंत्रणा, इलेक्ट्रॉनिक्स, ग्लास, सिरेमिक्स, बांधकाम साहित्य, बांधकाम, अन्न प्रक्रिया, औषध आणि वैद्यकीय विभागांमध्ये वापरल्या जातात. गॅसच्या वापराचा विशेषत: या क्षेत्रांच्या उच्च तंत्रज्ञानावर महत्त्वपूर्ण परिणाम होतो आणि तो अपरिहार्य कच्चा मटेरियल गॅस किंवा प्रक्रिया गॅस आहे. केवळ विविध नवीन औद्योगिक क्षेत्र आणि आधुनिक विज्ञान आणि तंत्रज्ञानाच्या गरजा आणि प्रोत्साहनासह, गॅस उद्योग उत्पादने विविधता, गुणवत्ता आणि प्रमाणानुसार झेप आणि सीमांनी विकसित केली जाऊ शकतात.

मायक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स आणि सेमीकंडक्टर उद्योगातील गॅस अनुप्रयोग

सेमीकंडक्टर प्रक्रियेमध्ये गॅसच्या वापराने नेहमीच महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावली आहे, विशेषत: सेमीकंडक्टर प्रक्रिया पारंपारिक यूएलएसआयपासून टीएफटी-एलसीडीपासून सध्याच्या मायक्रो-इलेक्ट्रो-मेकॅनिकल (एमईएमएस) उद्योगापर्यंत मोठ्या प्रमाणात वापरली गेली आहे, हे सर्व तथाकथित अर्धसंवाहक प्रक्रियेचा वापर उत्पादनांच्या उत्पादन प्रक्रियेच्या रूपात करतात. गॅसच्या शुद्धतेचा घटक आणि उत्पादनांच्या उत्पादनाच्या कामगिरीवर निर्णायक परिणाम होतो आणि गॅस पुरवठ्याची सुरक्षा कर्मचार्‍यांच्या आरोग्याशी आणि वनस्पतींच्या ऑपरेशनच्या सुरक्षिततेशी संबंधित आहे.

उच्च-शुद्धता गॅस वाहतुकीत उच्च-शुद्धता पाइपिंगचे महत्त्व

स्टेनलेस स्टील वितळणे आणि सामग्री बनविण्याच्या प्रक्रियेत, प्रति टन सुमारे 200 ग्रॅम गॅस शोषला जाऊ शकतो. स्टेनलेस स्टीलच्या प्रक्रियेनंतर, त्याच्या पृष्ठभागावर केवळ विविध दूषित पदार्थांसह चिकट नसून त्याच्या धातूच्या जाळीमध्ये देखील काही प्रमाणात गॅस शोषून घेते. जेव्हा पाइपलाइनद्वारे एअरफ्लो असेल तेव्हा धातूचा हा भाग वायूचा हा भाग शोषून घेतो, शुद्ध वायूला प्रदूषित करेल. जेव्हा ट्यूबमधील एअरफ्लो वेगळ्या प्रवाहाचा असतो, तेव्हा ट्यूब दाबाच्या खाली गॅसला शोषून घेते आणि जेव्हा एअरफ्लो थांबते, तेव्हा ट्यूबद्वारे शोषून घेतलेला गॅस निराकरण करण्यासाठी दाब ड्रॉप बनवितो आणि निराकरण केलेला वायू देखील अशुद्धी म्हणून नळीच्या शुद्ध वायूमध्ये प्रवेश करतो. त्याच वेळी, सोशोशन आणि रेझोल्यूशनची पुनरावृत्ती केली जाते, जेणेकरून ट्यूबच्या आतील पृष्ठभागावरील धातू देखील एक विशिष्ट प्रमाणात पावडर तयार करते आणि हे धातूचे धूळ कण देखील ट्यूबच्या आत शुद्ध वायूला प्रदूषित करतात. ट्रान्सपोर्ट केलेल्या गॅसची शुद्धता सुनिश्चित करण्यासाठी ट्यूबचे हे वैशिष्ट्य आवश्यक आहे, ज्यासाठी ट्यूबच्या अंतर्गत पृष्ठभागाची केवळ उच्च गुळगुळीतपणा आवश्यक नाही, परंतु उच्च पोशाख प्रतिरोध देखील आवश्यक आहे.

जेव्हा मजबूत संक्षारक कामगिरीसह गॅस वापरला जातो, तेव्हा गंज-प्रतिरोधक स्टेनलेस स्टील पाईप्स पाइपिंगसाठी वापरणे आवश्यक आहे. अन्यथा, पाईप गंजमुळे आतील पृष्ठभागावर गंज डाग तयार करेल आणि गंभीर प्रकरणांमध्ये, धातूचे स्ट्रिपिंग किंवा अगदी छिद्रांचे एक मोठे क्षेत्र असेल, जे वितरित करण्यासाठी शुद्ध वायू दूषित करेल.

उच्च-शुद्धता आणि उच्च-स्वच्छता वायू प्रसारण आणि मोठ्या प्रवाह दराच्या वितरण पाइपलाइनचे कनेक्शन.

तत्वतः, त्या सर्व वेल्डेड आहेत आणि वेल्डिंग लागू केल्यावर वापरल्या जाणार्‍या नळ्या संस्थेमध्ये बदल न करणे आवश्यक आहे. वेल्डिंग करताना वेल्डेड भागांच्या हवेच्या पारगम्यतेच्या अधीन असलेल्या कार्बन सामग्रीच्या अधीन असतात, ज्यामुळे पाईपच्या आत आणि बाहेरील वायूंचा परस्पर प्रवेश होतो आणि संक्रमित वायूची शुद्धता, कोरडेपणा आणि स्वच्छता नष्ट होते, परिणामी आमच्या सर्व प्रयत्नांचे नुकसान होते.

सारांश, उच्च-शुद्धता गॅस आणि विशेष गॅस ट्रान्समिशन पाइपलाइनसाठी, उच्च-शुद्धता पाइपलाइन सिस्टम (पाईप्स, फिटिंग्ज, वाल्व्ह, व्हीएमबी, व्हीएमपीसह) उच्च-शुद्धता गॅस वितरणामध्ये एक महत्त्वपूर्ण मिशन व्यापण्यासाठी, उच्च-शुद्धता पाइपलाइन सिस्टम (पाईप्स, फिटिंग्ज, वाल्व्ह, व्हीएमबी, व्हीएमपीसह) तयार करणे आवश्यक आहे.

प्रसारण आणि वितरण पाइपलाइनसाठी स्वच्छ तंत्रज्ञानाची सामान्य संकल्पना

पाईपिंगसह अत्यंत शुद्ध आणि स्वच्छ गॅस बॉडी ट्रान्समिशनचा अर्थ असा आहे की गॅसच्या तीन पैलूंसाठी काही विशिष्ट आवश्यकता किंवा नियंत्रणे आहेत.

गॅस शुद्धता: जीजीएएस शुद्धतेमध्ये अशुद्ध वातावरणाची सामग्रीः गॅसमधील अशुद्ध वातावरणाची सामग्री, सामान्यत: गॅस शुद्धतेच्या टक्केवारीच्या रूपात व्यक्त केली जाते, जसे की 99.9999%, अशुद्धता वातावरण सामग्री पीपीएम, पीपीबी, पीपीटीचे प्रमाण प्रमाण म्हणून देखील व्यक्त केले जाते.

कोरडेपणा: गॅसमध्ये ट्रेस आर्द्रतेचे प्रमाण किंवा ओलेपणा नावाची रक्कम, सामान्यत: दव बिंदूच्या दृष्टीने व्यक्त केली जाते, जसे की वातावरणीय दबाव दव पॉईंट -70. कं

स्वच्छता: गॅसमध्ये असलेल्या दूषित कणांची संख्या, कण आकार µm, किती कण/एम 3 व्यक्त करण्यासाठी, संकुचित हवेसाठी, सामान्यत: तेल सामग्री व्यापणार्‍या अटळ घन अवशेषांच्या किती मिलीग्राम/एम 3 च्या दृष्टीने व्यक्त केली जाते.

प्रदूषक आकाराचे वर्गीकरण: प्रदूषक कण, प्रामुख्याने पाइपलाइन स्कॉरिंग, पोशाख, धातूच्या कणांद्वारे तयार केलेले गंज, वातावरणीय काजळीचे कण, तसेच सूक्ष्मजीव, फेज आणि ओलावा-असलेले गॅस कंडेन्सेशन थेंब इत्यादींचा संदर्भ देते, त्याच्या कण आकाराच्या आकारानुसार विभाजित केले जाते

अ) मोठे कण - कण आकार 5μm वर

बी) कण-0.1μm-5μm दरम्यान भौतिक व्यास

सी) अल्ट्रा-मायक्रो कण-कण आकार 0.1μm पेक्षा कमी.

या तंत्रज्ञानाचा अनुप्रयोग वाढविण्यासाठी, कण आकार आणि μM युनिट्सची समजूतदारपणा समजून घेण्यासाठी, विशिष्ट कण स्थितीचा एक संच संदर्भासाठी प्रदान केला जातो

खाली विशिष्ट कणांची तुलना आहे