सेमीकंडक्टर प्रक्रियेसाठी उच्च-शुद्धता गॅस वितरण प्रणालीसाठी तंत्रज्ञान उपाय

उच्च-शुद्धता गॅस पाइपिंग तंत्रज्ञान हे उच्च-शुद्धता गॅस पुरवठा प्रणालीचा एक महत्त्वाचा भाग आहे, जे आवश्यक उच्च-शुद्धता वायू वापराच्या ठिकाणी पोहोचविण्याचे आणि तरीही योग्य गुणवत्ता राखण्यासाठी मुख्य तंत्रज्ञान आहे;उच्च-शुद्धता गॅस पाइपिंग तंत्रज्ञानामध्ये सिस्टमची योग्य रचना, फिटिंग्ज आणि अॅक्सेसरीजची निवड, बांधकाम आणि स्थापना आणि चाचणी समाविष्ट आहे.अलिकडच्या वर्षांत, मोठ्या प्रमाणात इंटिग्रेटेड सर्किट्सद्वारे दर्शविल्या जाणार्‍या मायक्रोइलेक्ट्रॉनिक उत्पादनांच्या उत्पादनात उच्च-शुद्धता वायूंच्या शुद्धता आणि अशुद्धतेच्या सामग्रीवर वाढत्या कठोर आवश्यकतांमुळे उच्च-शुद्धता वायूंचे पाइपिंग तंत्रज्ञान अधिक चिंतित झाले आहे आणि त्यावर जोर दिला गेला आहे.सामग्रीच्या निवडीतून उच्च-शुद्धता गॅस पाइपिंगचे संक्षिप्त विहंगावलोकन खालीलप्रमाणे आहेof बांधकाम, तसेच स्वीकृती आणि दैनंदिन व्यवस्थापन.

सामान्य वायूंचे प्रकार

इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योगातील सामान्य वायूंचे वर्गीकरण:

सामान्य वायू(मोठ्या प्रमाणात गॅस): हायड्रोजन (एच₂₎, नायट्रोजन (एन₂), ऑक्सिजन (ओ₂), आर्गॉन (ए₂), इ.

विशेष वायूSiH आहेत₄ ,PH₃ ,B₂H_{6 ,}A₈H₃ ,CL ,एचसीएल,CF₄ ,NH_3,POCL_3, SIH2CL₂ SIHCL3,NH_3,  BCL_{3 ,}SIF₄ ,CLF₃ ,CO,C₂F_6, N2O,F_2,एचएफ,HBR SF₆…… इ.

विशेष वायूंचे प्रकार सामान्यतः संक्षारक म्हणून वर्गीकृत केले जाऊ शकतातगॅस, विषारीगॅस, ज्वलनशीलगॅस, ज्वलनशीलगॅस, निष्क्रियगॅस, इ. सामान्यतः वापरल्या जाणार्‍या सेमीकंडक्टर वायूंचे साधारणपणे खालीलप्रमाणे वर्गीकरण केले जाते.

(i) संक्षारक / विषारीगॅस: HCl, BF₃, WF₆, HBr , SiH₂Cl₂, NH₃, पीएच₃, Cl₂, बीसीएल₃…इ.

(ii) ज्वलनशीलतागॅस: एच₂, सीएच₄, SiH₄, पीएच₃, AsH3, SiH₂Cl₂, बी₂H₆, CH2F_2,सीएच₃F, CO... इ.

(iii) ज्वलनशीलतागॅस: ओ₂, Cl₂, एन₂ओ, एनएफ₃… इ.

(iv) जडगॅस: एन₂, CF₄, सी₂F₆, सी₄F_8,SF₆, CO₂, Ne, Kr, He... इ.

अनेक अर्धसंवाहक वायू मानवी शरीरासाठी हानिकारक असतात.विशेषतः, यापैकी काही वायू, जसे की SiH₄ उत्स्फूर्त ज्वलन, जोपर्यंत गळती हवेतील ऑक्सिजनसह हिंसकपणे प्रतिक्रिया देईल आणि जळण्यास सुरवात करेल;आणि एएसएच₃अत्यंत विषारी, कोणतीही थोडीशी गळती मानवी जीवनास धोका निर्माण करू शकते, हे या स्पष्ट धोक्यांमुळे आहे, म्हणून सिस्टम डिझाइनच्या सुरक्षिततेसाठी आवश्यकता विशेषतः उच्च आहे.

वायूंच्या अनुप्रयोगाची व्याप्ती  

आधुनिक उद्योगाचा एक महत्त्वाचा मूलभूत कच्चा माल म्हणून, गॅस उत्पादनांचा मोठ्या प्रमाणावर वापर केला जातो आणि धातू, पोलाद, पेट्रोलियम, रासायनिक उद्योग, यंत्रसामग्री, इलेक्ट्रॉनिक्स, काच, मातीची भांडी, बांधकाम साहित्य, बांधकामांमध्ये मोठ्या प्रमाणात सामान्य वायू किंवा विशेष वायू वापरल्या जातात. , अन्न प्रक्रिया, औषध आणि वैद्यकीय क्षेत्र.विशेषत: या फील्डच्या उच्च तंत्रज्ञानावर गॅसच्या वापराचा महत्त्वपूर्ण प्रभाव पडतो आणि हा त्याचा अपरिहार्य कच्चा माल वायू किंवा प्रक्रिया वायू आहे.केवळ विविध नवीन औद्योगिक क्षेत्रांच्या गरजा आणि प्रोत्साहन आणि आधुनिक विज्ञान आणि तंत्रज्ञानाच्या आधारे, गॅस उद्योगातील उत्पादने विविधता, गुणवत्ता आणि प्रमाणाच्या दृष्टीने झेप घेऊन विकसित केली जाऊ शकतात.

मायक्रोइलेक्ट्रॉनिक आणि सेमीकंडक्टर उद्योगात गॅस ऍप्लिकेशन

सेमीकंडक्टर प्रक्रियेत गॅसचा वापर नेहमीच महत्त्वाची भूमिका बजावत असतो, विशेषत: सेमीकंडक्टर प्रक्रियेचा वापर विविध उद्योगांमध्ये मोठ्या प्रमाणावर केला जातो, पारंपारिक ULSI, TFT-LCD पासून ते सध्याच्या मायक्रो-इलेक्ट्रो-मेकॅनिकल (MEMS) उद्योगापर्यंत, सर्व जे उत्पादनांची निर्मिती प्रक्रिया म्हणून तथाकथित अर्धसंवाहक प्रक्रिया वापरतात.गॅसच्या शुद्धतेचा घटकांच्या कामगिरीवर आणि उत्पादनाच्या उत्पन्नावर निर्णायक प्रभाव पडतो आणि गॅस पुरवठ्याची सुरक्षा कर्मचार्‍यांच्या आरोग्याशी आणि वनस्पतींच्या ऑपरेशन्सच्या सुरक्षिततेशी संबंधित आहे.

उच्च-शुद्धतेच्या गॅस वाहतुकीमध्ये उच्च-शुद्धता पाईपिंगचे महत्त्व

स्टेनलेस स्टील वितळवण्याच्या आणि सामग्री बनवण्याच्या प्रक्रियेत, प्रति टन सुमारे 200 ग्रॅम गॅस शोषला जाऊ शकतो.स्टेनलेस स्टीलच्या प्रक्रियेनंतर, त्याची पृष्ठभाग विविध दूषित घटकांनी चिकटलेलीच नाही, तर त्याच्या धातूच्या जाळीमध्ये देखील विशिष्ट प्रमाणात वायू शोषला जातो.जेव्हा पाइपलाइनमधून वायुप्रवाह होतो, तेव्हा धातू शोषून घेते गॅसचा हा भाग वायुप्रवाहात पुन्हा प्रवेश करेल, शुद्ध वायू प्रदूषित करेल.जेव्हा ट्यूबमधील वायुप्रवाह अखंड प्रवाह असतो तेव्हा ट्यूब दबावाखाली वायू शोषून घेते आणि जेव्हा वायुप्रवाह थांबतो तेव्हा ट्यूबद्वारे शोषलेला वायू सोडवण्यासाठी दबाव ड्रॉप तयार करतो आणि सोडवलेला वायू देखील ट्यूबमधील शुद्ध वायूमध्ये प्रवेश करतो. अशुद्धता म्हणून.त्याच वेळी, शोषण आणि रिझोल्यूशन पुनरावृत्ती होते, ज्यामुळे ट्यूबच्या आतील पृष्ठभागावरील धातू देखील विशिष्ट प्रमाणात पावडर तयार करते आणि या धातूच्या धुळीचे कण ट्यूबच्या आत शुद्ध वायू देखील प्रदूषित करतात.वाहून नेलेल्या वायूची शुद्धता सुनिश्चित करण्यासाठी ट्यूबचे हे वैशिष्ट्य आवश्यक आहे, ज्यासाठी नळीच्या आतील पृष्ठभागाची केवळ उच्च गुळगुळीतपणाच नाही तर उच्च पोशाख प्रतिरोध देखील आवश्यक आहे.

जेव्हा मजबूत संक्षारक कार्यक्षमतेसह गॅस वापरला जातो, तेव्हा पाइपिंगसाठी गंज-प्रतिरोधक स्टेनलेस स्टील पाईप्स वापरणे आवश्यक आहे.अन्यथा, पाईप गंजामुळे आतील पृष्ठभागावर गंजलेले ठिपके तयार करेल आणि गंभीर प्रकरणांमध्ये, धातूचे स्ट्रिपिंग किंवा अगदी छिद्र पाडण्याचे मोठे क्षेत्र असेल, जे वितरित केल्या जाणार्या शुद्ध वायूला दूषित करेल.

उच्च-शुद्धता आणि उच्च-स्वच्छता गॅस ट्रांसमिशन आणि मोठ्या प्रवाह दरांच्या वितरण पाइपलाइनचे कनेक्शन.

तत्वतः, ते सर्व वेल्डेड आहेत, आणि वेल्डिंग लागू करताना वापरल्या जाणार्‍या नळ्यांच्या संघटनेत कोणताही बदल करणे आवश्यक आहे.कार्बनचे प्रमाण जास्त असलेले पदार्थ वेल्डिंग करताना वेल्डेड भागांच्या हवेच्या पारगम्यतेच्या अधीन असतात, ज्यामुळे पाईपच्या आत आणि बाहेर वायूंचा परस्पर प्रवेश होतो आणि प्रसारित वायूची शुद्धता, कोरडेपणा आणि स्वच्छता नष्ट होते, परिणामी वायूचे नुकसान होते. आमचे सर्व प्रयत्न.

सारांश, उच्च-शुद्धता वायू आणि विशेष गॅस ट्रांसमिशन पाइपलाइनसाठी, उच्च-शुद्धतेच्या पाइपलाइन प्रणाली (पाईप, फिटिंग्ज, व्हॉल्व्ह, व्हीएमबी, व्हीएमपीसह) तयार करण्यासाठी, उच्च-शुद्धतेच्या स्टेनलेस स्टील पाईपची विशेष प्रक्रिया वापरणे आवश्यक आहे. उच्च-शुद्धता गॅस वितरण हे एक महत्त्वाचे कार्य आहे.

ट्रान्समिशन आणि वितरण पाइपलाइनसाठी स्वच्छ तंत्रज्ञानाची सामान्य संकल्पना

पाइपिंगसह अत्यंत शुद्ध आणि स्वच्छ गॅस बॉडी ट्रान्समिशनचा अर्थ असा आहे की वायूच्या तीन पैलूंसाठी काही विशिष्ट आवश्यकता किंवा नियंत्रणे आहेत.

वायू शुद्धता: gGas शुद्धतेमधील अशुद्ध वातावरणाची सामग्री: वायूमधील अशुद्धता वातावरणाची सामग्री, सामान्यतः वायू शुद्धतेची टक्केवारी म्हणून व्यक्त केली जाते, जसे की 99.9999%, अशुद्ध वातावरण सामग्री ppm, ppb, यांचे प्रमाण प्रमाण म्हणून देखील व्यक्त केली जाते. ppt

कोरडेपणा: वायूमधील ट्रेस आर्द्रतेचे प्रमाण, किंवा ओलेपणा नावाचे प्रमाण, सामान्यत: दवबिंदूच्या संदर्भात व्यक्त केले जाते, जसे की वातावरणाचा दाब दव बिंदू -70.सी.

स्वच्छता: वायूमध्ये असलेल्या दूषित कणांची संख्या, कणांचा आकार µm, किती कण/M3 व्यक्त करायचे, संकुचित हवेसाठी, सामान्यत: किती mg/m3 अपरिहार्य घन अवशेषांच्या संदर्भात देखील व्यक्त केले जाते, जे तेलाचे प्रमाण व्यापते. .

प्रदूषक आकाराचे वर्गीकरण: प्रदूषक कण, मुख्यत्वे पाइपलाइन घासणे, पोशाख, धातूचे कण, वातावरणातील काजळीचे कण, तसेच सूक्ष्मजीव, फेजेस आणि ओलावा-युक्त वायू संक्षेपण थेंब इत्यादींद्वारे तयार होणारे गंज, त्याच्या कणांच्या आकारमानानुसार. मध्ये विभागले आहे

अ) मोठे कण – 5μm पेक्षा जास्त कण आकार

b) कण – सामग्रीचा व्यास 0.1μm-5μm दरम्यान आहे

c) अल्ट्रा-सूक्ष्म कण – कण आकार 0.1μm पेक्षा कमी.

या तंत्रज्ञानाचा वापर वाढविण्यासाठी, कण आकार आणि μm युनिट्सचे आकलनीय आकलन करण्यास सक्षम होण्यासाठी, विशिष्ट कण स्थितीचा संच संदर्भासाठी प्रदान केला जातो.

खालील विशिष्ट कणांची तुलना आहे